・최고 125kV 가속전압, 장시간 안정화된 최소직경 Φ1.7nm의 전자선

・최소선폭 4nm의 초미세 패턴을 실현
・최소선폭 5nm 보증　
・초고가속전압 125kV으로 극소선폭과 High aspect를 손쉽게 구현　
・후방산란전자의 영향과 근접효과의 양향을 극소화하여 노광조건을 잡기쉬움