Pattern Review System

표면/내부 패턴의 동시관찰, 단차측정, 형상측정, 두께 측정이 가능한 시스템

ST-100P
패턴리

​측정,분석장치

반도체 장치

실험실 설비/재료 

ST-200
미세패턴
ST-300AF
패턴측
촬영모드
계측모드
정도립현미경의 대물렌즈 조정기능
주요사양
표준사양

※옵션으로 CD측정기능 Software 탑재 가능