Compact Laser Lithography
특장점
측정,분석장치
반도체 장치
Compact Laser 노광 장치
Laser Scan으로 원통형, 평면기판에 노광이 가능합니다.
실험실 설비/재료
주요사양
Application gallery
 10um/20um |  10um/20um |
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![[10μm L/S data]](https://static.wixstatic.com/media/424481_d651711adc304019af64d9b5b7bc5736~mv2.jpg/v1/fill/w_250,h_168,al_c,q_90,enc_auto/424481_d651711adc304019af64d9b5b7bc5736~mv2.jpg) [10μm L/S data] | ![[5μm L/S data]](https://static.wixstatic.com/media/424481_76e22219a69d447889efb6ebc2fd0fb2~mv2.jpg/v1/fill/w_250,h_167,al_c,q_90,enc_auto/424481_76e22219a69d447889efb6ebc2fd0fb2~mv2.jpg) [5μm L/S data] |
특장점
Compact Laser 노광 장치
Laser Scan으로 원통형, 평면기판에 노광이 가능합니다.
주요사양
10um/20um | 10um/20um |
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[10μm L/S data] | [5μm L/S data] |