Compact Laser Lithography

특장점
측정,분석장치
반도체 장치
Compact Laser 노광 장치
Laser Scan으로 원통형, 평면기판에 노광이 가능합니다.

실험실 설비/재료
주요사양

Application gallery
![]() 10um/20um | ![]() 10um/20um |
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![]() [10μm L/S data] | ![]() [5μm L/S data] |
특장점
Compact Laser 노광 장치
Laser Scan으로 원통형, 평면기판에 노광이 가능합니다.
주요사양
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