​Compact Laser Lithography

특장점

​측정,분석장치

반도체 장치

Compact Laser 노광 장치

Laser Scan으로 원통형, 평면기판에 노광이 가능합니다.

실험실 설비/재료 

주요사양

Application gallery
10um/20um

10um/20um

10um/20um

10um/20um

[10μm L/S data]

[10μm L/S data]

[5μm L/S data]

[5μm L/S data]