Hansol Scientific Co.,Ltd

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    한솔과학 주식회사 / 대표이사: 곽관순 / 사업자 번호 213-83-35579

    Tel: 02-473-3567 /  Fax: 02-473-6777

    ​Compact Laser Lithography

    특장점

    Compact Laser 노광 장치

    Laser Scan으로 원통형, 평면기판에 노광이 가능합니다.

    ​측정,분석장치

    미세패턴 측정장치
    콘포컬 현미경
    3D SEM
    Normal SEM
    초미소 경도계
    CD 측정장치

    반도체 장치

    전자선 노광장치
    마스크 얼라이너
    스핀 코터
    이온 에칭 시스템
    간이 레이저 노광기
    웨이퍼 두께측정기
    투영 레이저 노광기

    실험실 설비/재료 

    액체질소 생성장치
    폴리셔
    Blank Mask
    퍼머로이
    • 장비 목록

    주요사양

    Application gallery
    10um/20um

    10um/20um

    		10um/20um

    10um/20um

    [10μm L/S data]

    [10μm L/S data]

    		[5μm L/S data]

    [5μm L/S data]