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OPTELICS Hybrid
Confocal Microscpe
Confocal Microscopy

​측정,분석장치

반도체 장치

실험실 설비/재료 

  • 고분해능: 405nm 레이저 광선을 이용한 고배율∙고분해능 관찰로 초미세 구조도 선명하게 가시화

  • 광시야 관찰: 일반 레이저 현미경에 비해 약 1.6배의 광시야 관찰에 의한 작업 효율 향상

  • 나노 규모 측정: 광 간섭 측정, 반사분광막두께 측정, AFM을 사용한 나노 단위 구조의 측정(AFM은 옵션)

  • 파장 선택: 6파장 중에서 샘플에 가장 적합한 파장을 선택. 다양한 조건에 대응하는 관찰∙측정을 실현

  • 고화질 컬러 관찰: 컬러 공초점의 특징인 초점 심도가 깊은 고화질 컬러 이미지 취득

용도

각종 재료의 관찰 및 형상 측정:
반도체 재료 및 디바이스, 투명 필름, ITO 필름, MEMS, 코팅 재료, 필름, 무기∙유기 재료,
바이오 계열 시료, 금속 부품, 플라스틱 가공 부품 등

주요사양

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