CD Measurement System
정도립현미경 선폭 측정 시스템
모델명: NV-2000
[개요]
고성능 정립현미경과 도립현미경이 결합되어 시료의 표면/내부를 동시에 관찰이 가능한 시스템. 정립과 도립현미경의 대물렌즈 편차로 배율이 다른경우 비디오 카메라의 화상처리에 의해 보정.
[특징]
1대의 공간으로 3대의 공간절약 (정립+도립+정도립 현미경) 낙사/투과,명시야,형광,편광,위상차,미분간섭등의 다양한 방법으로 정도립 동시관찰이 가능.
종횡,사선 형태의 선폭 엣지를 자동 검출하여 자동측정.
[용도]
전자종이, 입자,유체등의 관찰, 동영상 기록 메쉬필터, 잉크젯노즐,수정진동자등의 상하관찰, 각종계측 AF기능/미세선폭 측정 유닛
측정,분석장치
반도체 장치
실험실 설비/재료
정도립현미경 선폭 측정 시스템
모델명: VP-5LW
[개요]
오토포커스 기능 표준장착한 미세선폭 측정 유닛 선폭측정에 특화된 간편한 조작, 개인편차가 없는 측정 기존 보유 현미경에 손쉽게 장착 가능
[특징] 고정도의 화상처리 알고리즘으로 기울어진 선폭도 측정 고정도 디지털 카메라의 반복 재현성 3시그마:0.01um (대물렌즈 100배) 동시에 여러개의 선폭측정이 가능, 작업효율 향상 풍부한 옵션. 다용도계측~자동계측 시스템까지 확장 가능.
종횡,사선 형태의 선폭 엣지를 자동 검출하여 자동측정.
[용도] 액정 컬러필터, 레지스트 선폭 반도체 웨이퍼, 마스크 선폭 TAB, COF,리드프레임 선폭측정, 전자부품
응용예
주요사양
측정정도
화상방식 Auto fucus 유닛
모델명: VP-5
[개요] 화상입력보드, 화상처리 소프트, Windows OS, Z축 모터 출력을 탑재한 Auto focus 유닛 디지털 카메라 영상을 채용한 고정도 화상방식 AF
[특징] 현미경+더블포트로 AF용 카메라외에 고객이 보유한 카메라 사용가능 풍부한 옵션. 다용도 계측~자동계측 시스템까지 확장가능
[용도] 현미경용 오토 포커스, 미세선폭 측정 정립/도립현미경용 time lapse 시스템 반도체 검사/액정검사기의 외관검사후의 리뷰 레이저 리페어 장치와 결합