실리콘 웨이퍼의 두께를 계측하는 장치입니다.

● 정전 용량 센서에 의한 비접촉방식으로 웨이퍼 두께를 측정 합니다.

● 레시피 설정으로 웨이퍼 크기의 변경이 가능하며 웨이퍼 교체 작업이 필요 없음.

● 웨이퍼 두께는 100μm~1800μm 영역까지 측정 가능 (웨이퍼 크기에 따라 다름)

● 측정 포인트는 중앙 1포인트 또는 십자 측정을 레시피에서 설정합니다. 십자 측정 시 포인트 수, 위치의 지정도 가능

● 측정한 데이터는, PC에 저장.

※상세 사양은 별도문의