Wafer Thickness Measurement System

웨이퍼 두께 측정장치

모델명: TME-07

​측정,분석장치

반도체 장치

실험실 설비/재료 

실리콘 웨이퍼의 두께를 계측하는 장치입니다.

● 정전 용량 센서에 의한 비접촉방식으로 웨이퍼 두께를 측정 합니다.

● 레시피 설정으로 웨이퍼 크기의 변경이 가능하며 웨이퍼 교체 작업이 필요 없음.

● 웨이퍼 두께는 100μm~1800μm 영역까지 측정 가능 (웨이퍼 크기에 따라 다름)

● 측정 포인트는 중앙 1포인트 또는 십자 측정을 레시피에서 설정합니다. 십자 측정 시 포인트 수, 위치의 지정도 가능

● 측정한 데이터는, PC에 저장.

※상세 사양은 별도문의

웨이퍼 두께 측정장치

모델명: STM 시리즈

간단한 조작으로 웨이퍼의 두께를 측정하는 장치입니다 .

●웨이퍼 로딩방식은 흡착식이며 ,Edge clamp 방식은 선택 가능

●측정부는 정전용량식 / 광학식 센서를 채용함 .

●측정 포인트는 중앙 1 포인트외에 외주부를 포함 5 포인트 ,9 포인트 선택

●웨이퍼 사이즈 , 측정위치 , 측정수 , 웨이퍼의 장착방식은 사전협의

※상세 사양은 별도문의