고성능

■AC 서보모터 채용

 -brushless motor를 채용하여 크린룸에서 Contamination 영향이 적다.

●모터 발열을 최소화 하여 연속 사용시의 온도상승에 따른 박막 재현성의 영향을 감소시켰다.

●소비전력이 적어 운용의 효율성을 높혔다.

​

■뛰어난 회전성능

30년에 걸친 실적을 바탕으로 축적된 MIKASA의 기술로 설계되어져 Spin Coater전용 서보 드라이버와 소프트웨어로 고성능을 실현하였습니다.

 -급사면 회전 동작 및 정지특성을 실현하여 다양한 재료의 개발, 평가에 대응 하였음.

 -정확한 회전, 5000rpm이상의 고속회전을 포함한 전회전수는 ±１rpm의 고정도. 회전수는 실회전수를 실시간으로 표시함

​

Low cost

기존 장치와 비교하여 성능은 향상하였으나 제조 비용의 절감을 통해 낮은 제품가격 유지.

 

기능

■프로그램 기능 확장

 -최대 100 step의 프로그램을 10가지로 메모리 설정하여 사용이 편리.

■압력 센서를 사용- 디지털 진공 게이지를 전기종에 표준장착

 -필름 또는 파손하기 쉬운 웨이퍼 사용으로 흡착압을 내리는 경우 Vacuum limit 동작 압력 변경이 가능

■회전 slope 기능（slope up, down）

■각기판등에 편리한 정지위치설정기능

■적하장치 추가 가능（MS-A150/200）

■Interlock기구（진공압및 개구부）※일부는 선택사양