표면형상 측정/분석장치

3D SEM
Normal SEM
Super Fine Coater
Confocal Microscope
CD Measurement system
Pattern Measurement System
Nano Indenter

반도체 공정장치

EB Lithography
ION Etching system
Mask Aligner
Spin Coater
웨이퍼두께측정장치
Projection Exposure system
Compact Laser lithography

실험실 설비/ 재료

LN2 Generator
Polisher
Blank Mask
Permalloy

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