ERA-600FE Surface Roughness Analysis 3D Scanning Electron Microscope

​측정,분석장치

특장점

・고정도 , 고분해능의 표면형상 측정가능한 3D SEM
・표면 형상 파라메터의 산출이 3D SEM 1대로 가능

반도체 장치

실험실 설비/재료 

▶3D SEM의 특장점1

3D SEM에는 일반적인 SEM에 없는 큰 특징이 있다.

바로 4개의 2차전자 검출기가 표준장착되어 있다는 점이다. SEM은 초점심도가 크지만 시료의 표면 요철 형태를 알기 힘든 경우가 가끔 생긴다. 또. 미세한 요철형상이 있는 시료는 Tilting 하여도 보기 힘든 경우가 있으며 이때에는 시간과 Operator의 숙련도가 크게 좌우한다. ELIONIX에서는 4개의 검출기를 채용하여 X방향과 Y방향 전체의 조광효과에 의해 화상을 선택하면 누구라도 손쉽게 표면의 요철형상을 확인할 수 있는 성능을 지니고 있다. 게다가, 검출기로 들어오는 2차전자신호량을 정량적으로 분석, 시료의 X,Y의 경사각을 계산하여 3차원형상을 형성한다. 2차전자방식은 횡방향 분해능이 아주 높으며 조사전류 10 -14A 로서 극히 작으며 시료의 Damage가 없는 고분해능측정이 가능하다.

 

▶3D SEM 특장점2

간편한 조작을 실현하기 위해 Windows OS를 채용. 마우스만으로 Auto는 물론 수동조정도 SEM 화면상에서 가능하다.  Full Auto 5축 motor drive (XYZRT)를 표준장착, Contrast, Brightness, Focus, Stigma등의 자동화로 사용자의 취향에 따라 화면을 설정할 수 있다. 또한 사용자가 최적조건을 입력해 두면 차후에 같은 조건하에서 측정이 가능하다. 1개의 화면에서 관찰부터 측정까지 측정,분석,보고서작성 등을 총괄적으로 작업할 수 있으며 사용법도 간편하다. 이러한 기능은 연구소,대학교등의 우수한 인력들의 시간적, 육체적인 유무형의 손실을 감소시키고 연구에만 전념할 수 있는 환경을 제공한다.

▶3D SEM 특장점3

①실질적인 고성능 SEM 분해능(X,Y:3.5nm, Z:1 nm)

W Tungsten Filament E-Gun으로 고분해능과 저배율에서 고배율까지 사용자의 요구에 맞춰 사용할 수 있다.

②One Touch Filament 교환

고정도의 E-Gun Column으로 Filament 교환도 간편하여 복잡한 조작없이 수분사이에 교환할 수 있다. 또한 CRT 화면상에서 마우스 조작으로 Filament의 Alignment 조정이 가능하며 표준장치인 Beam Memory기능에 의해 안정된 조작이 가능하다.

③풍부한 표준 기능

5축 Motor Drive (XYZRT), 고정밀 화상취득기능, 자동화 기능, 메모리 기능등 풍부한 기능을 표준 장착하여 편리한 조작환경을 제공하며 고분해능으로 요철상, 구조화상을 관찰, 삼차원형상과 표면거칠기 (Roghness)를 측정할수 있다.

주요사양

Application gallery
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3차원 이미지 및 표면형상 분석

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3차원 이미지 및 표면형상 분석

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3차원 이미지

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표면조성 2차전자상

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표면요철 2차전자상

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표며조성 2차전자상

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3차원 이미지 및 표면단차 계측

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표면요철 2차전자상

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3차원 이미지

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