Magnetic Shield Room

​측정,분석장치

■ Magnetic Field Shield Room

퍼멀로이 (Pemalloy)에서 차폐된 자기 쉴드룸은 외부의 자력선은 실내에 못들어오도록하며 반대로 내부의 자계발생원을 둔 경우에도 자력선 방출을 차폐한다. 퍼멀로이 (Pemalloy)는 금속재료중에서도 최대의 투자율(透磁率)을 갖고 있으며 자력선이 통과하기 쉬운 금속으로서 자력선 차폐에 우수한 효과를 갖고 있다.

■ 자기쉴드의 종류

●자기쉴드챔버

○자기의 영향으로부터 보호해야 하는 정밀장치
○특징=조립분해가 가능
○용도=E-Beam Lithography, 전자현미경, 정밀측정기, 반도체 Clean Room

반도체 장치

실험실 설비/재료 

●독립형 자기쉴드룸

○공장등의 넓은 공간내에 독립된 자기차폐실을 시공하는 공법
○용도=특수실험실, 정밀측정실, Clean Room등

●1실개조형 자기쉴드룸

○건물의 기존의 룸을 자기차폐실로 만드는 공법
○용도=MRI실,초음파실, 수술실,

■ 자기쉴드룸용 금속 투자율(透磁率)
※아래 투자율비교표를 통해 PC Permalloy가 자기쉴드용재료로서 최적임을 알 수 있다.

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