■ Magnetic Field Shield Room

퍼멀로이 (Pemalloy)에서 차폐된 자기 쉴드룸은 외부의 자력선은 실내에 못들어오도록하며 반대로 내부의 자계발생원을 둔 경우에도 자력선 방출을 차폐한다. 퍼멀로이 (Pemalloy)는 금속재료중에서도 최대의 투자율(透磁率)을 갖고 있으며 자력선이 통과하기 쉬운 금속으로서 자력선 차폐에 우수한 효과를 갖고 있다.

■ 자기쉴드의 종류

●자기쉴드챔버

○자기의 영향으로부터 보호해야 하는 정밀장치
○특징＝조립분해가 가능
○용도＝E-Beam Lithography, 전자현미경, 정밀측정기, 반도체 Clean Room