・Electrostatic Beam Deflector의 개선으로 1mm 전면에서 균일한 노광 결과 획득

・최소선폭 10nm

・SEM조작, CAD 조작을 한대의 PC로 일체화한 간편한 User Interface
・컴팩트한 설계, 경제적인 가격