Nano Indenter for measuring hardness of every material. ENT-1100b
초미소 경도계

​측정,분석장치

반도체 장치

특장점

▶ENT-1100의 간략한 특징

기존의 경도계 방식과는 전혀 다른 전자력 제어 방식에 의한 미소 경도 측정기로서 기존의 경도계에서는 불가능했던 박막과 극표면층의 경도측정이 가능하다. 분해능 0.0003μm(0.3nm) 의 초고분해능 실현

①극미소 표면의 경도시험을 위해 10~100mgf까지의 범위를 전자력 방식 으로 정밀하게 측정

②압흔 두께를 정밀하게 측정하도록 정전용량식 비접촉 변위계를 채용, 0.3nm의 분해능이 가능하며 최대 20μm까지 측정가능

③시료 관찰에 CCD칼라 카메라를 채용, 컴퓨터로 측정 Point를 관찰하면서 위치를 결정 하고 또한 측정 데이터, 관찰화면을 하드 디스크에 기록

④stage는 motor 구동장치로서 복수의 측정 Point를 전자동으로 측정

⑤고성능 Active 방진대- (option)

*전자동 다점측정 방식채용이란?

①CCD컬러 카메라 화상을 모니터로 관찰하면서 임의 위치선택, 시험하중, step, 속도 등의 조건을 입력하면 전자동 측정 (최대 20 Point 연속 측정)

②측정종료와 동시에 측정점으로 대물렌즈 이동.

③압흔의화상을 모니터로 관찰할수 있으며 HD에 기록

④전자동 측정후 다양한 해석기능으로 시료표면의 정보 획득

⑤일람표로 확인, 각각의 경도 데이터의 비교

※고성능 방진대(0.5Hz) 를 장착하여 초저하중 영역의 측정

실험실 설비/재료 

주요사양