Hansol Scientific Co.,Ltd

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    한솔과학 주식회사 / 대표이사: 곽관순 / 사업자 번호 213-83-35579

    Tel: 02-473-3567 /  Fax: 02-473-6777

    ELS-F125
    ELS-F100
    ELS-S50
    ELS-HS50
    Electron Beam Lithography
    ELS-HS50 High Throughput Electron Beam Lithography System
    미세패턴 측정장치
    콘포컬 현미경
    3D SEM
    Normal SEM
    초미소 경도계
    CD 측정장치
    전자선 노광장치
    마스크 얼라이너
    스핀 코터
    이온 에칭 시스템
    간이 레이저 노광기
    웨이퍼 두께측정기
    투영 레이저 노광기

    반도체 장치

    ​측정,분석장치

    특장점

    ・기존의 이빔 장치의 100배의  Throuhgput 실현

    ・최소선폭 20nm

    ・최대 전류 1μA에서 시간당 6inch wafer x 2 의 High Throughput

    ・SEM조작, CAD 조작을 한대의 PC로 일체화한 간편한 User Interface

    실험실 설비/재료 

    액체질소 생성장치
    폴리셔
    Blank Mask
    퍼머로이
    SEM User Interface
    CAD User Interface
    • 장비 목록

    주요사양