・조각시편~최대 12인치 대응

・자동 웨이퍼 전송 시스템

・가속전압 50,100,125, 150keV 대응

・SEM조작, CAD 조작을 한대의 PC로 일체화한 간편한 User Interface

・최대 400nA 고전류 

・Shot pitch : 0.2nm

・Scan clock: 100Mhz